초순수 국산화...반도체 제조 공정에 공급해 실증

환경부는 국내 자체 개발한 초순수 생산기술 실증시설을 경북 구미 SK실트론 공장에 세우고 오늘(9일)부터 반도체 제조 공정에 공급을 개시했다고 밝혔습니다.

초순수는 불순물이 거의 없는 상태의 물로 반도체 표면 세척 등 정밀 산업 분야에 사용됩니다.

환경부와 한국환경산업기술원은 지난 2019년 일본의 반도체 소재 수출규제에 대응하기 위해 초순수 개발에 나섰으며, 국산화 과정에 국고 325억 원 등 모두 443억여 원을 투입했습니다.

초순수를 생산하려면 이온물질 농도를 1조분의 1 이하로 만드는 등 고난도 물 처리 기술이 필요해 현재 일부 국가만 생산 기술을 보유하고 있습니다.

이번에 운영을 시작한 실증시설은 설계와 시공, 운영 기술은 자체 개발했고 핵심 기자재의 70%를 국산화한 거로 전해졌습니다.

초순수 하루 최대 생산량은 천2백 톤입니다.




YTN 이문석 (mslee2@ytn.co.kr)