금속과 반대 특성 갖는 비정질 준금속 나노 극초박막 물질 개발

국내 연구진이 기존 금속과는 다른 새로운 금속물질을 개발했습니다.

아주대학교·스탠포드대학교 공동 연구팀은 박막의 두께가 줄어듦에 따라 비저항이 급격히 줄어드는 새로운 금속물질인 '비정질 준금속 나노 극초박막 물질'을 개발했다고 밝혔습니다.

지금까지 반도체 금속 배선 물질로 사용되는 구리와 몰디브데넘(Mo), 루테늄(Ru) 등의 물질은 특정 두께 이하에서 비저항이 급격히 증가해 반도체 소자에 활용하는 데 어려움이 있었습니다.

이번에 개발한 신물질은 별도의 고온 공정 없이도 기존 금속들과는 정반대 특성을 보여 현재의 반도체 공정에 적용할 수 있을 정도로 호환성이 뛰어납니다.

이번 연구결과는 세계적 국제학술지 '사이언스'에 실렸습니다.



YTN 임늘솔 (sonamu@ytn.co.kr)